Carbure de silicium (SiC)
Le carbure de silicium (SiC) peut se présenter sous diverses compositions. On le retrouve soit sous des formes de moindre pureté pour des applications thermiques, soit sous des formes pures (SiC fritté et SiC CVD) qui font du carbure de silicium une céramique technique aux caractéristiques mécaniques et thermiques exceptionnelles.
DEMANDE D'INFORMATIONS
Microcertec offre deux nuances pures de SiC particulièrement adaptées aux environnements hostiles :
- le carbure de silicium fritté
- le carbure de silicium obtenu par dépôt CVD
Ces deux nuances de carbure de silicium sont principalement destinées à des applications thermo-mécaniques, ou de résistance à la corrosion. De plus, ces nuances pures de SiC offrent une conductivité thermique élevée, de l’ordre de 120 à 160 W/m.K pour le carbure de silicium fritté et de 250 W/m.K pour le SiC CVD.
Le carbure de silicium fritté et le SiC CVD offrent les propriétés suivantes :
- faible densité
- excellente résistance aux chocs thermiques
- excellente résistance à l’usure
- excellente résistance à la corrosion (liquides et gaz)
- faible coefficient de dilatation thermique
- conductivité thermique élevée
- conductivité électrique
Le carbure de silicium fritté est une céramique très utilisée dans les applications suivantes :
- tubes et bagues d'étanchéité et coussinets de garnitures mécaniques
- éléments de pompes et vannes
- bras de manipulation des wafers et plaque chauffante (chuck) pour équipements de procédés des semi-conducteurs